Leibniz-Institut f??r Plasmaforschung und Technologie e.V.

Das Leibniz-Institut f??r Plasmaforschung und Technologie e.V. ist mit 190 Wissenschaftlern, Ingenieuren und weiteren Fachkr?§ften die gr????te au??eruniversit?§re Forschungseinrichtung zu Niedertemperaturplasmen, deren Grundlagen und technischen Anwendungen in Europa.
Die Abteilung Plasmaoberfl?§chentechnik bietet die Entwicklung geeigneter Plasmaprozesse und -quellen f??r die Behandlung unterschiedlicher Materialoberfl?§chen (Metalle, Keramiken, Gl?§ser, Polymere, Textilien) und Geometrien. Das Kompetenzfeld umfasst die komplette Plasmaoberfl?§chentechnologie inklusive Materialwissenschaft, Oberfl?§chenanalytik und Plasmadiagnostik. Die inter- und multidisziplinare Ausrichtung und Vernetzung von Wissenschaftlern, Ingenieuren und Technikern aus vielen Bereichen erm??glicht es, hochkomplexe und stark themen??bergreifende Projekte zum Erfolg zu f??hren.


THEMENSCHWERPUNKTE IM HIGHTECH-BEREICH

  • Optische Schichten
  • Verschlei??- und kratzfeste Oberfl?§chen
  • Korrosions- und Oxidationsschutz
  • W?§rmed?§mmschutz
  • Verklebungen
  • Hydrophile / hydrophobe Oberfl?§chen
  • Modifizierung von Kunststoffoberfl?§chen

PLASMABASIERTE VERFAHREN
Zur Modifizierung der Oberfl?§chen werden sowohl Verfahren im Niederdruck- als auch im Atmosph?§rendruckbereich eingesetzt, die st?§ndig weiterentwickelt werden.
Im Niederdruckbereich kommen Prozesse wie Atomic Layer Deposition (ALD), Ionenimplantation (PIII und PIII&D), High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) oder die plasmagest??tzte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) zum Einsatz.
Unter Atmosph?§rendruckbedingungen k??nnen Oberfl?§chen mittels dielektrisch behinderter Entladung (DBE), Plasmajet, Plasmaspray-Verfahren oder Plasmapolieren modifiziert werden.


OBERFL??CHEN-UND PROZESSDIAGNOSTIK
Die Nutzung einer Vielzahl an oberfl?§chenanalytischen Methoden, wie z.B. XPS, REM, STEM, EDX, XRD, Profilometrie und FTIR, erlaubt zusammen mit einem gro??en Pool an Plasmadiagnostiken, wie z.B. FTIR, OES, Langmuirsonde und energieselektive Massenspektrometrie, die Entwicklung hochqualitativer Prozesse zur Modifizierung von Oberfl?§chen f??r eine Vielzahl von Anwendungsgebieten.
 

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